常州藍(lán)陽環(huán)保設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品: 活性炭再生設(shè)備,活性炭吸附催化燃燒,活性炭脫附催化燃燒 |
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- 所在地 常州市
更新時間:2022-04-15 16:23:59瀏覽次數(shù):334
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當(dāng)今是以集成電路技術(shù)為核心的數(shù)字信息時代,在集成電路制造的過程中會產(chǎn)生大量的有機(jī)污染物、無機(jī)污染物等有毒有害氣體。
集成電路行業(yè)廢氣介紹
主要來源:在集成電路制程工藝中,會經(jīng)常使用硫酸、鹽酸、顯影劑、光刻膠、清潔劑、蝕刻液,而產(chǎn)生大量的酸堿和有機(jī)廢氣。
主要成分:
1. 有機(jī)廢氣:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;
2. 酸性廢氣:硫酸霧、氯化物、氯氣;
3.堿性廢氣:氨氣、氟化物等;
4.一般排氣:無害氣體。
主要危害:
1. 集成電路制程工藝經(jīng)常使用化學(xué)藥劑,如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物,易造成對大氣環(huán)境的污染;
2. 在整機(jī)裝配過程中產(chǎn)生的機(jī)械噪聲和少量粉塵也會造成環(huán)境污染,這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。
集成電路行業(yè)廢氣處理設(shè)備介紹
常用的工業(yè)廢氣處理工藝有:酸堿中和法、活性炭吸附法、催化燃燒法、直接燃燒法、等離子法、吸收法、冷凝法等。 集成電路制造行業(yè)因廢氣性質(zhì)、成分不同,其廢氣處理處理方案也有所差異,結(jié)合工業(yè)廢氣處理工藝,集成電路行業(yè)廢氣處理方案主要有以下幾種:
1、集成電路酸堿性廢氣處理
集成電路行業(yè)酸性廢氣處理方法,主要采用酸堿中和法,通過廢氣洗滌塔氣液交叉接觸,堿液噴淋洗滌即可凈化酸性廢氣。
2、集成電路有機(jī)廢氣處理
集成電路行業(yè)有機(jī)廢氣處理方法,通常先用活性炭對VOCs進(jìn)行吸附濃縮之后,再用催化燃燒法進(jìn)行分解。
3、 一般排氣無需處理,直接排放即可。集成電路行業(yè)廢氣處理設(shè)備