常州藍(lán)陽(yáng)環(huán)保設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間:2022-05-16 14:48:09瀏覽次數(shù):378
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一、集成電路制造行業(yè)廢氣簡(jiǎn)述
集成電路制造行業(yè)廢氣主要成分是揮發(fā)性有機(jī)物VOCs。集成電路芯片生產(chǎn)過(guò)程中使用大量的有機(jī)溶劑如清洗劑、光刻膠、剝離液、稀釋液等,從而產(chǎn)生一定量的VOCs廢氣,不僅造成大氣污染,還可能會(huì)導(dǎo)致廠區(qū)環(huán)境異味,因此進(jìn)行VOCs廢氣治理,實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放十分必要。
集成電路制造行業(yè)VOCs主要來(lái)源
集成電路制造行業(yè)VOCs來(lái)源主要集中在揮發(fā)性有機(jī)溶劑的使用、載運(yùn)、儲(chǔ)存。載運(yùn)過(guò)程包括有機(jī)溶劑的原料載入及廢有機(jī)溶劑的載出過(guò)程,溶劑儲(chǔ)罐與槽車之間的接口等處有機(jī)溶劑揮發(fā)。有機(jī)溶劑的儲(chǔ)存主要包括儲(chǔ)罐儲(chǔ)存,化學(xué)品桶裝儲(chǔ)存及瓶裝儲(chǔ)存。有機(jī)溶劑儲(chǔ)罐的排氣、儲(chǔ)存過(guò)程中的不密封或意外泄露也是VOCs的來(lái)源。
集成電路行業(yè)VOCs主要成分
集成電路行業(yè)有機(jī)廢氣VOC的主要成分為異丙醇和丙酮,此兩項(xiàng)物質(zhì)占比達(dá)VOCs主要成分80%-100 %,其中異丙醇占比55%以上,丙酮占比5%-34%。
二、集成電路行業(yè)VOCs廢氣處理方法
活性炭吸附法
吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑(活性碳、硅膠、分子篩等)來(lái)處理有機(jī)廢氣,這樣就能夠通過(guò)化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分,并且將其吸附在吸附劑的表面,從而達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度、無(wú)顆粒物、無(wú)粘性物、常溫的低濃度有機(jī)廢氣凈化處理。
活性炭?jī)艋矢?,?shí)用,操作簡(jiǎn)單,投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭,更換活性炭需要費(fèi)用,替換下來(lái)的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進(jìn)行危廢處理,運(yùn)行費(fèi)用高。