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半導(dǎo)體廢水回用設(shè)備 中水處理技術(shù)
科技的不斷創(chuàng)新讓人們對于電子設(shè)備的要求也在不斷增加,導(dǎo)致半導(dǎo)體廢水排放量逐年增加。我國水資源匱乏嚴重,如何正確處理半導(dǎo)體廢水、提高水資源利用率成為了業(yè)內(nèi)不斷研究的課題。
半導(dǎo)體行業(yè)廢水可分為含氟廢水、含磷廢水、有機廢水、研磨廢水、氨氮廢水及酸堿廢水。含氟廢水污染物主要為氟離子,主要來源于來自于自芯片制造過程中的擴散工序及化學(xué)機械研磨工序,在對硅片及相關(guān)器皿的清洗過程中也多次用到氫氟酸。含磷廢水主要來源于生產(chǎn)工程中的鋁刻蝕液。作為清洗劑,有機溶劑普遍使用在制造封裝的各個環(huán)節(jié)上,有機廢水由此產(chǎn)生,有機廢水主要來源于IPA溶劑、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機廢水。
半導(dǎo)體廢水回用設(shè)備 中水處理技術(shù)
為了降低半導(dǎo)體行業(yè)的用水成本、減少對環(huán)境的污染,半導(dǎo)體廢水的高效處理意義重大。傳統(tǒng)的生化處理方法由于活性污泥濃度較低,處理效果往往達不到預(yù)期。近年來,膜分離系統(tǒng)在廢水處理中的應(yīng)用越來越廣泛,Neterfo極限分離系統(tǒng)是專門為“三高廢水"開發(fā)的一套膜深度處理及回用系統(tǒng),采用錯流PON防污染技術(shù)、POM寬通道高架橋旁路技術(shù)等技術(shù)手段,達到高回收率、低能耗的處理效果,突破了傳統(tǒng)中水系統(tǒng)回收率50%的瓶頸,綜合回收率可達90%以上。Neterfo極限分離內(nèi)置AI芯片,實現(xiàn)智能調(diào)節(jié),及時分析處理海量信息,更精確、動態(tài)地管理系統(tǒng)運行,隨時優(yōu)化運行狀態(tài)。