SGC-10薄膜測(cè)厚儀，適用于介質(zhì)，半導(dǎo)體，薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測(cè)量。該薄膜測(cè)厚儀，是我公司與美國(guó)new-span公司*的薄膜測(cè)厚技術(shù)，基于白光干涉的原理來(lái)測(cè)定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（折射率k）。通過(guò)分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜，用軟件來(lái)擬合運(yùn)算，得到單層或多層膜系各層的厚度n，消光系數(shù)強(qiáng)大的軟件功能：

該儀器適用于多種介質(zhì)，半導(dǎo)體，薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測(cè)量。

典型的薄膜材料為：

SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、鋁丙烯酸、藍(lán)寶石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。

技術(shù)指標(biāo)：

名稱(chēng)

參數(shù)

厚度范圍

20nm-50um（只測(cè)膜厚），

100nm-10um（同時(shí)測(cè)量膜厚和光學(xué)常數(shù)n，k）

根據(jù)薄膜材料的種類(lèi)，其范圍有所不同。

準(zhǔn)確性

<1nm或<0.5%

重復(fù)性

0.1nm

波長(zhǎng)范圍

380nm-1000nm

可測(cè)層數(shù)

1-4層

樣品尺寸

樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

測(cè)量速度

5s-60s

光斑直徑

1.2mm-10mm可調(diào)

樣品臺(tái)

290mm*160mm

光源

長(zhǎng)壽命溴鎢燈（2000h）

光纖

純石英寬光譜光纖

探測(cè)器

進(jìn)口光纖光譜儀

電源

AC100V-240V，50HZ-60HZ

重量

18kg

尺寸

300mm*300mm*350mm