儀器名稱

X射線光電子能譜儀

儀器型號

Thermo escalab 250Xi

生產廠家

Thermo fisher

技術參數(shù)

    180°半球能量分析器        能量范圍：0～5,000 eV

     Al Kα單色化XPS              Mg/Al雙陽極XPS 

    X射線束斑面積從900 μm到200 μm連續(xù)可調；

    大束斑：Ag3d5/2（FWHM＝0.50eV）強度≥400 kcps；20 µm束斑 ：Ag3d5/2（FWHM＝0.45 eV）強度≥0.5 kcps；

    大束斑：Ag3d5/2（FWHM＝0.8 eV）強度大于650 kcps；

    對Ag3d5/2線掃描的空間分辨率優(yōu)于3 μm；

應用范圍

     1）  物質定性分析：根據(jù)測得的光電子動能可確定材料表面存在哪些元素，靈敏度(0.1at%)；

     2）  物質定量分析：根據(jù)某種能量的光 電子的強度確定元素在其表面的含量，誤差20%左右；

     3） 元素化學態(tài)分析：根據(jù)某元素光電子動能的位移可了解元素所處的化學狀態(tài)。

主要功能

    測量物體表面3-5 nm內的元素成分及價態(tài)；定性分析；定量分析；元素價態(tài)分析；離子刻蝕分析

定性分析

半定量分析

價態(tài)分析

 樣品要求

      寄送樣品須干燥處理；樣品須是粉末或是小于4 mm的塊狀顆粒。如進行價態(tài)分析須注明窄掃元素；如進行半定量分析須注明半定量元素；元素含量僅供參考如需精確定量請選擇其它檢測項目；如需刻蝕需注明刻蝕的厚度及次數(shù)；寄送樣品質量大于50 mg。