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雙溫區(qū)CVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)S-1400PC

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更新時(shí)間:2022-02-12 10:15:53瀏覽次數(shù):323次

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雙溫區(qū)PECVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備由滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成,溫度可以達(dá)到1400度,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品結(jié)構(gòu):
1400度雙溫區(qū)cvd實(shí)驗(yàn)室設(shè)備由滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,溫度可以達(dá)到1400度,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì),可以對(duì)多種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
滑動(dòng)式快速退火管式爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手動(dòng)滑動(dòng)。加熱和冷卻速率可達(dá)100°C/m。為取得加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得冷卻,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。
軟件控制系統(tǒng):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái),隨時(shí)可以調(diào)出。
產(chǎn)品用途:
1400度雙溫區(qū)cvd實(shí)驗(yàn)室設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
產(chǎn)品參數(shù):

  • 產(chǎn)品型號(hào):S-1400PC
  • 氣路控制:浮子流量計(jì)/質(zhì)量流量計(jì)
  • 真空系統(tǒng):旋片泵/擴(kuò)散泵/分子泵
  • 可選配件:水冷機(jī)/數(shù)顯真空計(jì)
  • 溫度:1400℃(可定制)
  • 工作溫度:≤1300℃(可定制)
  • 加熱元件:優(yōu)質(zhì)硅碳棒
  • 溫控方式:智能化30段PID微電腦可編程控制
  • 溫控保護(hù):具有超溫及斷偶報(bào)警功能
  • 熱電偶:S型
  • 爐膛材質(zhì):高純氧化鋁多晶纖維
  • 加熱速率:0-20℃/分
  • 恒溫精度:±1℃
  • 均勻性:±5℃
  • 極限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 爐殼結(jié)構(gòu):雙層殼體帶風(fēng)冷系統(tǒng)
  • 額定功率:5Kw
  • 供電電源:110-480V 50/60Hz
  • 售后服務(wù):12個(gè)月質(zhì)保,終身保修(易損件除外)


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