熱式氣體質(zhì)量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)，其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD ），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)這兩個RTD 被置于介質(zhì)中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫差，另一個溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體速率增加，傳感器傳遞給介質(zhì)的熱量增多，因此需要供給更多的功率，而電子單元加熱RTD 的功率與質(zhì)量流量成一定的對應(yīng)關(guān)系。
熱式氣體流量計的優(yōu)勢
無須壓力溫度補償，直接測量氣體質(zhì)量流量，組成簡單，出現(xiàn)故障概率小 
量程比高（大于100：1） 
快速響應(yīng)，精度高 
靈敏度高，尤其適合于大管徑、低流速的流量測量 
現(xiàn)場顯示瞬時、信號輸出，上下限報警等 
結(jié)構(gòu)多樣，分插入式、管道式安裝，安裝靈活，裝卸方便，使用簡便 
無活動部件，結(jié)構(gòu)堅固，抗振 
可應(yīng)用于高溫場合和腐蝕環(huán)境中