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GE50A質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品簡介

GE50A質(zhì)量流量控制器MKS GE50A橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從5sccm–50slm，精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度（GM51A除外）。EtherNet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通訊接......

詳細(xì)介紹

MKS GE50A橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從5sccm–50slm，精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度（GM51A除外）。EtherNet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通訊接口可選。

MKS GE50A通用橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器精度為設(shè)定值的± 1%，相應(yīng)速度快于500毫秒，不同氣體及量程間自由切換。通過一個(gè)*的數(shù)字算法，實(shí)現(xiàn)了精度的實(shí)時(shí)流量控制。與通?；赑ID的數(shù)字MFC相比，它由于能實(shí)現(xiàn)工藝氣體流量的實(shí)時(shí)控制而極大提供了控制精度，具有更好的工藝腔室匹配性。

基于EtherNet 用戶通訊口網(wǎng)絡(luò)的游覽界面使客戶可以實(shí)時(shí)地進(jìn)行控制器的設(shè)置和故障排除，從而減少了對“"MFC的替換并且無需中斷工藝氣體輸送。

例：型號GE50A013502R6V010(代表的是氣體介質(zhì)是氮?dú)?，流量?00sccm，配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male，通訊接口是DeviceNet，密封材料是Viton橡膠密封）

GE50A質(zhì)量流量控制器采購系列號GE50A

用于標(biāo)準(zhǔn)的氣體(SEMI Gas編號）