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上海西努光學(xué)科技有限公司
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更新時(shí)間：2023-10-24 10:50:30瀏覽次數(shù)：140次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流
| 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列 "Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。 |  |
· 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
· 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的*佳性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
· 采用污染小、高真空樣品倉
· 運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2
| 項(xiàng)目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次電子分辨率 | 0.7 nm （加速電壓15 kV） 0.8 nm （著陸電壓1 kV）*3 | 0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3 | |||||
| 著陸電壓 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | |||||
| 樣品臺 | 樣品臺控制 | 3軸馬達(dá)臺（可選5軸馬達(dá)臺） | 5軸馬達(dá)驅(qū)動 | ||||
| 移動范圍 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| 再現(xiàn)性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm | |||
*4以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率
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