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雙頻激光干涉儀精密測量儀器中圖儀器(chotest)SJ6000

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產(chǎn)品型號SJ6000

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更新時間:2023-04-01 15:25:29瀏覽次數(shù):436次

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產(chǎn)品簡介

SJ6000雙頻激光干涉儀精密測量儀器使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm),以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級

詳細(xì)介紹

SJ6000雙頻激光干涉儀精密測量儀器使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm),以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級。
 


SJ6000雙頻激光干涉儀精密測量儀器以光波為載體,集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
 

性能特點

①使用高速光電信號采樣和處理技術(shù),測量速度可達到4m/s。
②配合有環(huán)境補償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
③分離式干涉鏡設(shè)計,避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
 

應(yīng)用范圍

①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測;
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析;
③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析。

SJ6000雙頻激光干涉儀精密測量儀器具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。

關(guān)鍵詞:激光干涉儀

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