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多軸路同步測(cè)量激光干涉儀（型號(hào)：ZLM800，德國JENAer公司生產(chǎn)，）

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雙頻激光干涉儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品功能ZLM800多軸路同步測(cè)量激光干涉儀——真正的雙頻激光干涉儀，主要用于各種平臺(tái)和部件的微位測(cè)量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測(cè)、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)位移量和角度變化的檢測(cè)、光刻機(jī)幾何量的測(cè)量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量等，最多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能
    ZLM800多軸路同步測(cè)量激光干涉儀——真正的雙頻激光干涉儀，主要用于各種平臺(tái)和部件的微位測(cè)量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測(cè)、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)位移量和角度變化的檢測(cè)、光刻機(jī)幾何量的測(cè)量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量等，最多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系檢測(cè)物體的振動(dòng)變化。
    1.納米級(jí)的多軸聯(lián)動(dòng)位移、速度、加速度的動(dòng)靜態(tài)測(cè)量分析及運(yùn)動(dòng)控制環(huán)同步測(cè)量校準(zhǔn)；
    2.同步實(shí)時(shí)測(cè)量多軸聯(lián)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部件的俯仰、扭擺、滾動(dòng)的角位移變化, X-Y-Z 軸的聯(lián)動(dòng)插補(bǔ)位移誤差及驅(qū)動(dòng)匹配誤差分析；
    3.納米級(jí)振動(dòng)的多軸向同步數(shù)據(jù)采集測(cè)量和分析。

性能優(yōu)勢(shì)

l 系統(tǒng)采用雙頻激光發(fā)射器及多軸路干涉信號(hào)同步數(shù)據(jù)處理器，是真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀"和“雙頻激光干涉儀"概念的區(qū)別，雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。

l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。

l 激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。

l 基于可朔源的激光波長(zhǎng)為位移量度量基準(zhǔn)，應(yīng)用雙頻激光外差式干涉原理及交流光電信號(hào)處理器，克服了單頻激光干涉測(cè)量的直流電平漂移及受環(huán)境因素光強(qiáng)變化約束的弊端，具有的增益、高信噪比和抗電磁干擾性能，實(shí)現(xiàn)了可朔源的多光路外差式激光干涉測(cè)量。

l 采樣頻率更快，達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。

l 被測(cè)物體速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。

l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。

l 對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)復(fù)雜光路的角度和微位移的測(cè)量，ZLM800型是理想的選擇。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：ZLM800	使用高性能PCI或機(jī)架式數(shù)據(jù)處理器
He-Ne激光平均波長(zhǎng)：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時(shí)2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm (可選3.2mm)
激光管突發(fā)輸出功率：	5mW (激光等級(jí)2)
每束光可測(cè)量的軸數(shù)：	最多6個(gè)
線性測(cè)量距離：	2m
角度測(cè)量范圍：	± 10°
速度：	2m/s
加速：	無限制
采樣頻率：	內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：	10分鐘
位移測(cè)量分辨率：	1.25nm
位移測(cè)量精度（20℃±0.5℃時(shí)）：	±0.4ppm (μ/m)
角度測(cè)量分辨率：	0.012角秒
角度測(cè)量精度：	±0.1ppm 示值
數(shù)據(jù)接口：	積分信號(hào) 32 Bit (實(shí)時(shí)時(shí)間) 數(shù)據(jù)延時(shí)< 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝

應(yīng)用案例

以下是為某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800兩個(gè)應(yīng)用案例。在個(gè)案例中，用兩個(gè)3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個(gè)擺鏡的擺動(dòng)，實(shí)時(shí)測(cè)試兩個(gè)擺鏡對(duì)應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個(gè)案例中，用一個(gè)3軸角度干涉儀來測(cè)試擺鏡的鏡面擺動(dòng)情況，2個(gè)單軸位移干涉儀檢測(cè)一個(gè)兩軸位移平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況。

下述案例是為國內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測(cè)量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測(cè)物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測(cè)量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對(duì)變化量。