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高真空PECVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號KJ-T1200-S5030-H

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更新時間：2022-09-03 10:30:57瀏覽次數(shù)：263次

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鄭州科佳電爐有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：PECVD系統(tǒng)由管式爐，真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成

詳細介紹

產(chǎn)品介紹：

PECVD系統(tǒng)由管式爐，真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。系統(tǒng)主要應(yīng)用于金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，石墨烯等生長。PECVD系統(tǒng)增加功能容易，可擴展等離子清洗刻蝕等功能，PECVD系統(tǒng)薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高等優(yōu)點。

PECVD系統(tǒng)主要特點：

1.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。
2.通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
3.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
4.可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。
5.廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

應(yīng)用范圍：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。

設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	高真空PECVD設(shè)備(CE認證)
滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號	KJ-T1200-S5030-H
爐管尺寸	Φ50mmX1600mm
爐管材質(zhì)	石英管
加熱區(qū)	300mm
工作溫度	1100℃
溫度	1200℃
溫控方式	K型熱電偶
控制方式	觸屏控制，帶獨立搖臂，可以根據(jù)實際使用需求，調(diào)節(jié)溫控屏的角度，使用更方便
控溫精度	±1℃
溫控保護	具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率	0-20ºC/min ，建議10ºC/min
加熱元件	含鉬電阻絲
工作電壓	AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制）
加熱功率	3KW
爐膛材料	氧化鋁多晶纖維
爐體結(jié)構(gòu)	爐體帶滑軌，可實現(xiàn)快速升溫和降溫
法蘭接頭	標配配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng)	該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好。
殼體	不銹鋼殼體
選配	輔助降溫風扇
真空系統(tǒng)部分
名稱	真空系統(tǒng)
主要參數(shù)	1.采用進口安捷倫高真空分子泵組，極限真空度可達10-3pa 2.KF25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連； 3.數(shù)字式真空顯示，其測量范圍為5×10-5- 1500mbar，測量精度高高
氣路系統(tǒng)部分
名稱	四路質(zhì)量流量計
主要參數(shù)	四通道精密質(zhì)量流量計：觸屏控制，數(shù)字顯示，自動控制。流量范圍流量范圍： 1.MFC 1-MFC4：0-1000sccm可調(diào) 2.一個混氣罐 3.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體； 4.進出氣口：3進1出流量控制：手動旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié) 連接方式：雙卡套連接
等離子電源部分
名稱	500W等離子電源
功率范圍	0-500W（連續(xù)可調(diào)）
工作頻率	13.56MHZ+0.005%
工作模式	連續(xù)輸出
射頻輸出阻抗接口	N-type,female（50Ω）
功率穩(wěn)定度	≤2W
反射功率	70W
電源保護設(shè)置	DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護
供電電壓/頻率	單相交流（187V-253V）50-60HZ
冷卻方式	風冷
整機尺寸	88X483X550 MM
整機重量	13.5KG
認證	*、CE認證
售后服務(wù)	質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍）

1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。