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青島佳鼎分析儀器有限公司


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SAMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)刻蝕機RIE-10NR

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更新時間：2023-01-09 13:56:33瀏覽次數(shù)：628次

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產品簡介

SAMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)刻蝕機RIE-10NR產品優(yōu)勢：高度緊湊型設計，節(jié)約空間

詳細介紹

SAMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)刻蝕機RIE-10NR

產品優(yōu)勢：

高度緊湊型設計，節(jié)約空間；

均勻度-小于±5%超過8英寸；

30年的RIE蝕刻器生產工藝經驗；

具備大型晶圓處理能力，能夠處理8英寸晶圓；

易于操作-電腦化的觸摸屏顯示器；

ASMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)RIE-10NR

設備硬件配置

1. 可加工尺寸，8 寸 wafer；
2. 真空系統(tǒng)
EBARA 羅茨泵+OSAKA 分子泵
3. RF
AX-300 300W,13.56MHZ
4. 氣體
O2 200SCCM
CF4 200SCCM
AR 100SCCM
SF6 100SCCM
氣體可根據(jù)客戶需求更改
5. VAT 蝶閥
6. MKS 薄膜電容真空計

7. 配備冷水機


翻新內容

1. 真空泵翻新；
2. MFC 校準翻新；
3. 腔室 parts 翻新；
4. 真空管路波紋管及密封件更換；

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