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南京南大儀器有限公司
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所 在 地南京市
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更新時間:2023-06-02 09:18:57瀏覽次數(shù):130次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品介紹:LZ-Ⅱ離子濺射儀鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電極產(chǎn)生濺射現(xiàn)象,靶被濺射出來的中性原子沉淀于基臺上樣品表面成膜,形成導電層。
LZ-Ⅱ離子濺射儀鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電極產(chǎn)生濺射現(xiàn)象,靶被濺射出來的中性原子沉淀于基臺上樣品表面成膜,形成導電層。
用途:
LZ-Ⅱ離子濺射儀是一種小型鍍膜裝置,可用作掃描電鏡、電子探針等儀器進行試樣制備,是開展教學科研實驗的儀器。
鍍膜原理與結(jié)構(gòu):
LZ-Ⅱ離子濺射儀鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電極產(chǎn)生濺射現(xiàn)象,靶被濺射出來的中性原子沉淀于基臺上樣品表面成膜,形成導電層。
該離子濺射儀為二極結(jié)構(gòu),以基臺和樣品架為正電極與儀器外殼相連并接地,濺射靶電極為負電極(加負高壓),它們被安裝在玻璃罩的真空腔內(nèi),當腔內(nèi)達到一定真空度,在負高壓的作用下發(fā)生輝光放電產(chǎn)生等離子體,其中正離子在電場加速下,獲得足夠能量轟擊負電極上的靶面,靶面被濺射原子沉淀于基臺的樣品表面形成導電膜,以供上述儀器分析。
技術(shù)參數(shù):
1、型號:
1、真空腔:¢150×12 硼酸硅質(zhì)玻璃
2、濺射靶尺寸:¢55×0.3
3、基臺: ¢50 6-8個樣品
4、極間距調(diào)節(jié)范圍20-40mm
5、濺射電壓: -2000V-0 DC連續(xù)可調(diào)
濺射電流0-30 mA
6、定時器:0-99分數(shù)字顯示
7、真空測量:1×105-1.0×10-1pa 數(shù)字顯示,單片機控制,數(shù)字顯示,具有真空保護鎖設置。
8、控制系統(tǒng):單片機控制,完成真空自動測量、顯示、定時器倒計時功能以及自動完成鍍膜程序。
9、真空泵:2L/S二級旋片式直聯(lián)機械泵,極限真空度6×10-1pa
10、充氣閥:金屬微調(diào)針型閥 保護氣體 99.9%純度氬氣(推薦)
11、外形尺寸:長354mm ×高216mm ×深340mm
12、電源:AC 220V 50HZ
特點:
1、人性化設計,整體性好;
2、單片機控制,操作方便簡潔;
3、用戶可根據(jù)實驗需要自由設置濺射操作的工藝參數(shù),使用靈活、方便;
4、儀器有真空鎖保護設置,使儀器可靠性安全性好;
5、本產(chǎn)品已獲得國家,號:.0
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