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MPI手動(dòng)晶圓級(jí)太赫茲探針臺(tái)系統(tǒng)

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MPI手動(dòng)晶圓級(jí)太赫茲探針臺(tái)系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

TS150-AIT & TS200-THZ

TS150-AIT和TS200-THZ探針系統(tǒng)專(zhuān)為新興的THz應(yīng)用而設(shè)計(jì)，例如高速5G通信，衛(wèi)星，非侵入性光譜，醫(yī)療保健設(shè)備以及短距離汽車(chē)?yán)走_(dá)等，其方法是在同一探針臺(tái)上增加有源阻抗調(diào)諧器集成。這兩個(gè)系統(tǒng)是業(yè)界明確設(shè)計(jì)的150 mm和200 mm探針系統(tǒng)，可結(jié)合毫米波，太赫茲（THz）和自動(dòng)阻抗調(diào)諧器應(yīng)用的要求，以的測(cè)量方向性提供準(zhǔn)確的測(cè)試。

任意可達(dá)1.5THz的帶寬、差分或?qū)拵U(kuò)頻器和/或自動(dòng)阻抗調(diào)諧器的無(wú)縫集成；
擴(kuò)展器/調(diào)諧器集成的新穎設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)的測(cè)量動(dòng)態(tài)；
的機(jī)械穩(wěn)定性和可重復(fù)性，結(jié)合方便和安全的操作。

TS150-AIT & TS200-THZ細(xì)節(jié)優(yōu)勢(shì)

MPI TS200-THZ手動(dòng)探針系統(tǒng)具有的功能。這些高度可重復(fù)性（1µm）的壓板提升設(shè)計(jì)，具有用于安全，接觸，分離（300µm）和加載（3mm）的三個(gè)離線(xiàn)位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時(shí)提供直觀的控制，準(zhǔn)確的觸點(diǎn)定位和安全設(shè)置。附加的Probe Hover Control™具有懸停高度（50、100或150 µm），可輕松方便地將探頭與焊盤(pán)對(duì)齊。

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

氣浮式移動(dòng)系統(tǒng)

MPI的氣墊載物臺(tái)設(shè)計(jì)，具有簡(jiǎn)單的單手定標(biāo)器控制，為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了的操作便利性，同時(shí)搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機(jī)芯，不影響精確定位能力。

卡盤(pán)Z調(diào)整

TS150-TH有10mm的精細(xì)卡盤(pán)Z調(diào)整，旨在靈活地集成不同的擴(kuò)頻器，例如Rohde＆Schwarz，VDI或OML。對(duì)于在同一探頭系統(tǒng)上使用多個(gè)彎曲解決方案的設(shè)置非常有利，可以輕松快速地進(jìn)行設(shè)置。

微型定位器

專(zhuān)用的極剛性探針臺(tái)板設(shè)計(jì)可容納兩個(gè)東西方向的粗體——東西向配置的下行MP80大面積微選址器。通過(guò)將兩個(gè)南北“電橋"作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可以輕松進(jìn)行四端口RF測(cè)量或DC偏置。

MP80-DX

市場(chǎng)上另一個(gè)MPI開(kāi)拓性解決方案——的MP80-DX，具有低至1µm的簡(jiǎn)單、精確的精確度，是精確且經(jīng)濟(jì)高效的多線(xiàn)TRL的理想選擇，即多行TRL——毫米波和次太赫茲范圍內(nèi)的RF校準(zhǔn)方法。有關(guān)更多詳細(xì)信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn) MPI QAlibria® 軟件。

多種卡盤(pán)選項(xiàng)

TS200-THZ提供多種卡盤(pán)選件，以滿(mǎn)足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求，例如MPI：帶BNC連接器的標(biāo)準(zhǔn)RF卡盤(pán)；專(zhuān)用mmW卡盤(pán)，內(nèi)置具有高導(dǎo)熱率（> 180 W / Km）的特殊陶瓷；甚至 ERS AirCool射頻卡盤(pán)（從20°C到200°C或更高），帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔。所有卡盤(pán)都有兩個(gè)由陶瓷材料制成的輔助卡盤(pán)，用于精確的RF校準(zhǔn)，尤其是在40 GHz以上的范圍內(nèi)。

多種光學(xué)選項(xiàng)

提供專(zhuān)用的MPI光學(xué)元件，可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學(xué)變焦高達(dá)12倍，工作距離超過(guò)45毫米。由于集成擴(kuò)頻器固有的空間限制，要求與DUT的距離最短，因此這種顯微鏡的體積小，非常適合RF和mmW應(yīng)用。

擴(kuò)頻器集成

TS200-THZ集成了全新的擴(kuò)頻器集成設(shè)計(jì)。為了地減少到DUT的距離并提供的測(cè)量方向性，MPI引入了一種新穎的概念，將擴(kuò)展器懸停在整個(gè)200mm晶圓上。新型TS200-THZ探針臺(tái)的附加關(guān)鍵功能是輕松，便捷和快速地重新配置。