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MPI 高功率探針臺系統(tǒng)

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更新時間：2024-02-18 13:25:03瀏覽次數(shù)：1060次

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產(chǎn)品簡介

MPI 高功率探針臺系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

TS2000-HP Probe System

MPI的TS2000-HP半自動化探針臺測試系統(tǒng)可提供8英寸及以下晶圓器件的高功率測量，的ShielDEnvironment™可提供低噪聲和屏蔽的測試環(huán)境。

專為高電壓和大電流量測應(yīng)用而設(shè)計
適合至高 10kV / 600A （脈沖）的晶圓級高功率組件量測
提供載片下的高功率動、靜態(tài)參數(shù)的測試
晶圓載物臺表面鍍金，最小化接觸電阻；真空吸孔優(yōu)化，適合裝載至薄 50 µm 的薄晶圓
可選配搭載 Taiko 晶圓載物臺
提供抗電弧解決方案
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計的精密量測環(huán)境
支援飛安級低漏電值量測
溫度量測范圍 -60 °C to 300 °C

特點與優(yōu)勢

安全系統(tǒng)

采用可互鎖的安全光幕，可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器，保護用戶免受意外高壓沖擊。該系統(tǒng)具有后門，并由互鎖保護，以提供簡便的初始安全測量設(shè)置。

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的微暗室屏蔽系統(tǒng)，可為超低噪聲、低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環(huán)境。為了防止卡盤和壓盤之間產(chǎn)生電弧，TS2000-HP卡盤專門設(shè)計了ArcShield™。

高壓探針（HVP）

低泄漏探頭專門設(shè)計，可承受高達10kV（同軸）和3kV（三軸）的高壓?？蛇x擇多種連接器選項，如Keysight Triax / UHV，Keithley Triax / UHV，SHV或Banana等。

大電流探針（HCP）

專為用于高達200A（脈沖）的大電流晶片測量而設(shè)計的高性能探針。 MPI多指大電流探頭采用單片結(jié)構(gòu)，可有效處理大電流并提供低接觸電阻。

高功率測試系統(tǒng)

該測試系統(tǒng)提供了一個一體化的解決方案，用于表征2極和3極功率器件，如場效應(yīng)（FET）、雙極結(jié)（BJTs）晶體管、二極管、電容器（高達3 kV和100 A）。只要插入一個DUT，就可以測量斷開狀態(tài)和接通狀態(tài)的所有相關(guān)參數(shù)以及特性電容（Ciss、Coss Crss）。 IV特性可以在脈沖模式下進行，也可以在直流模式下進行。這樣可以提高效率并防止任何重新布線錯誤。

超快動態(tài)RDS（on）

GaN器件的表征系統(tǒng)

超快速動態(tài)RDS（on）測試是被設(shè)計用來表征GaN晶體管的特性的。電力電子學(xué)的一個關(guān)鍵要求是在從高壓離態(tài)切換到低壓導(dǎo)通狀態(tài)后立即獲得非常低的導(dǎo)通電阻（RON）。超快動態(tài)RDS（on）測試能夠在關(guān)閉和打開狀態(tài)之間切換后立即測量RDS（on）。個RDS（on）值在大約1 us后生成。該系統(tǒng)是為高達100A（脈沖電流）或高達1kV電壓而設(shè)計的。由于探針的特殊設(shè)計，可以測量更多參數(shù)（泄漏或者其他）。

自動化晶圓裝載系統(tǒng)

自動化的單晶片裝載機和安全測試管理提供了的功能，可以在任何溫度下裝載/卸載晶片。裝載或卸載晶片不再需要冷卻或加熱到環(huán)境溫度。這樣可以節(jié)省大量的停機時間，并顯著提高MPI測試系統(tǒng)的整體效率，同時，方便的管理員登錄過程可保護必要的設(shè)置。

可選的防電弧液體托盤

專門設(shè)計的防電弧液體托盤，只需放在大功率卡盤表面，即可用于抑制電弧。晶圓可以安全地放置在托盤內(nèi)，浸沒在液體中進行無電弧高壓測試。

軟件套件SENTIO®

MPI自動工程探針系統(tǒng)由且革命性的多點觸摸操作控制SENTIO®軟件套件，簡單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓(xùn)時間。“滾動"，“縮放"，“移動"命令模仿了現(xiàn)代智能移動設(shè)備，使每個人都可以在短短幾分鐘內(nèi)成為專家。在活動應(yīng)用程序與其余APP之間的切換僅需簡單的手指操作即可。

對于RF應(yīng)用系統(tǒng)，無需切換到另一個軟件平臺——MPI RF校準(zhǔn)軟件程序QAlibria®與SENTIO®集成在一起，遵循單一操作概念方法，易于使用。