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漢鐘PD變距系列干式螺桿真空泵

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漢鐘變螺距螺桿真空泵排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積，線形密封性佳，泵浦性能

詳細(xì)介紹

機(jī)型Model	單位Unit		PDF110		PD120		PD300	PD400	PD650	PD800
抽氣速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz)	l/min		1800		1667/2000		4167/5000	5556/6667	9030/10840	11011/13233
	m³/hr		110		100/120		250/300	333/400	540/650	680/800
	Cfm		65		59/71		147/176	196/236	317/382	393/471
壓力 Ultimate Pressure	Torr		≤7.5*10^-3
	mbar		≤1*10^-2
	Pa		≤1
馬達(dá) Motor	頻率Frequency	Hz	50/60
	電壓Voltage	V	220-440
	額定功率 Rated Power	Hp	3			4/4.8	8/10	15/20	25/30	25/30
		kW	2.2			2.98/3.58	6.7/7.5	11/15	18.5/22	18.5/22
連接 Connection	進(jìn)氣口Inlet		NW50			NW50	ISO63	ISO63	ISO100	ISO100
	排氣口Outlet		NW25			NW40	NW40	NW40	ISO63	ISO63
冷卻水 Cooling Water	接頭Connection		RC3/8
	壓力Pressure	Mpa	0.2—0.4
	溫度temperature	℃	25	3slm18℃-6slm28℃					6slm18℃-15slm28℃
	流量 Flow	l/min	1
氮?dú)?br> N2	壓力Purge Pressure	MPa	0.15-0.2
	稀釋流量 Dilute flow	L/min	By process
	密封流量 Sealing foow	L/min	10
	接頭Connection		Swagelok 1/4"						Swagelok 3/8"
尺寸Dim.	長×寬×高L×W×H	mm	398358551		814380663		1075430650	1582700757	1831610735	1831610735
重量Weight	Kg		132		280		390	750	1050	1050
噪音Noise	dB(A)		≤68		≤66		≤70	≤72	≤75	≤75
系統(tǒng)漏率 System Max. Leak-rate	mbar.l/s		1*10^-5
室溫操作范圍Operation Temp.	℃		5-40
操作濕度Operation Moisture	RH		90%以上

技術(shù)參數(shù)：

機(jī)型Model	單位Unit		PDF110		PD120		PD300	PD400	PD650	PD800
抽氣速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz)	l/min		1800		1667/2000		4167/5000	5556/6667	9030/10840	11011/13233
	m³/hr		110		100/120		250/300	333/400	540/650	680/800
	Cfm		65		59/71		147/176	196/236	317/382	393/471
壓力 Ultimate Pressure	Torr		≤7.5*10^-3
	mbar		≤1*10^-2
	Pa		≤1
馬達(dá) Motor	頻率Frequency	Hz	50/60
	電壓Voltage	V	220-440
	額定功率 Rated Power	Hp	3			4/4.8	8/10	15/20	25/30	25/30
		kW	2.2			2.98/3.58	6.7/7.5	11/15	18.5/22	18.5/22
連接 Connection	進(jìn)氣口Inlet		NW50			NW50	ISO63	ISO63	ISO100	ISO100
	排氣口Outlet		NW25			NW40	NW40	NW40	ISO63	ISO63
冷卻水 Cooling Water	接頭Connection		RC3/8
	壓力Pressure	Mpa	0.2—0.4
	溫度temperature	℃	25	3slm18℃-6slm28℃					6slm18℃-15slm28℃
	流量 Flow	l/min	1
氮?dú)?br> N2	壓力Purge Pressure	MPa	0.15-0.2
	稀釋流量 Dilute flow	L/min	By process
	密封流量 Sealing foow	L/min	10
	接頭Connection		Swagelok 1/4"						Swagelok 3/8"
尺寸Dim.	長×寬×高L×W×H	mm	398358551		814380663		1075430650	1582700757	1831610735	1831610735
重量Weight	Kg		132		280		390	750	1050	1050
噪音Noise	dB(A)		≤68		≤66		≤70	≤72	≤75	≤75
系統(tǒng)漏率 System Max. Leak-rate	mbar.l/s		1*10^-5
室溫操作范圍Operation Temp.	℃		5-40
操作濕度Operation Moisture	RH		90%以上