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大平臺硅片檢測顯微鏡ZXGP-800系列

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產(chǎn)品簡介

大平臺硅片檢測顯微鏡ZXGP-800系列

詳細(xì)介紹

一、儀器的用途：

ZXGP-800研究級大平臺硅片顯微鏡主要用于半導(dǎo)體硅片的觀察。它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強(qiáng)，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡，在半導(dǎo)體行業(yè)有廣泛應(yīng)用。

　　大平臺硅片檢測顯微鏡可以觀察到太陽能電池硅片肉眼難觀測的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格, 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制普通的儀器。

二、系統(tǒng)簡介

大平臺硅片顯微鏡系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)儀器與計(jì)算機(jī)（數(shù)碼相機(jī)）通過光電轉(zhuǎn)換器有機(jī)地結(jié)合在一起，能在計(jì)算機(jī)（數(shù)碼相機(jī)）顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。

三、技術(shù)參數(shù)、

1.目鏡

類型	放大倍數(shù)	視場（mm）
大視野目鏡	10X	Φ22

2.物鏡

類型	放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑（NA）	工作距離（mm）
無限遠(yuǎn)平場消色差物鏡(明/暗場物鏡）	4X	0.1	17.80
	10X	0.25	10.00
	20X	0.40	5.10
	40X	0.60	2.90

3.光學(xué)放大倍數(shù)：40X-400X（選配鏡頭可到1000X）

4.三目頭: 30?傾斜, 可全通光攝影

5.轉(zhuǎn)換器：四孔內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位

6.載物臺：三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 300mm×268mm，移動(dòng)范圍250mm×200mm

7.調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm

8.落射照明系統(tǒng): 6V 20W 鹵素?zé)? 亮度與燈炮位置可調(diào),

內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、推拉式檢偏器與起偏器,

9.濾色片：黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃濾色片轉(zhuǎn)換裝置

10.*防霉系統(tǒng)

四、系統(tǒng)組成

ZXGP-800型：1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器（CCD） 4.圖像采集卡 5.軟件

五、選購件

1.目鏡： 10X(分劃） 2.物鏡： 50X 60X 100X（干）

3.成像系統(tǒng) 4.專業(yè)軟件

5.配套電腦

1.目鏡

類型	放大倍數(shù)	視場（mm）
大視野目鏡	10X	Φ22

2.物鏡

類型	放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑（NA）	工作距離（mm）
無限遠(yuǎn)平場消色差物鏡(明/暗場物鏡）	5X	0.12	8.05
	10X	0.25	7.86
	20X	0.40	7.23
	50X	0.70	1.75
	80X	0.80	0.80