AML英國制造 MEMS傳感器有源皮拉尼和壓電計 AGP-1真空測量 概觀
MEMS有源皮拉尼和壓電計
AGP主動皮拉尼·高格黑德
AGP Active Pirani Gaugehead
AGP皮拉尼規(guī)結(jié)合了尖的端的MEMS傳感器技術(shù)、精密的數(shù)字信號處理和先進(jìn)的測量算法。
概觀
- 1 x 10的測量范圍
-6
至1200毫巴(7.5 x 10-7
至900托) - 超寬范圍高性能MEMS傳感器
- 先進(jìn)創(chuàng)新的數(shù)字信號處理
- 從5到1200毫巴的精密氣體獨(dú)立傳感器
- 可安裝在任何方向,不影響性能
- 可編程電壓輸出信號
- 數(shù)字RS-232接口
- 一個用于過程控制的固態(tài)設(shè)定點(diǎn)
- 10巴(145磅/平方英寸)的高過壓容限
- 堅固、緊湊的不銹鋼法蘭和外殼設(shè)計
傳感器的設(shè)置和參數(shù)是用戶可編程的串行接口,使診斷,
預(yù)測性維護(hù),服務(wù),校準(zhǔn),設(shè)定值配置,模擬輸出縮放
和實(shí)時真空壓力測量的采集。提供多種模擬輸出縮放選
項,以模擬其他供應(yīng)商的真空計和傳感器。
■ Measurement range: 1 x 10-6 mBar to 1333 mBar (7.5 x 10-7 to 1000 Torr)
■ Ultra-wide range high performance MEMS Pirani sensor
■ Advanced innovative digital signal processing
■ Precision gas-independent sensor from 5 to 1333 mBar
■ 0 - 10 Vdc programmable voltage output
■ Mountable in any orientation without impact on performance
■ Programmable voltage output signal
■ Digital RS-232 interface
■ One solid-state relay for process control
■ High overpressure tolerance of 10 bar (145 psi) absolute
■測量范圍:1 x 10-6毫巴至1333毫巴(7.5 x 10-7至1000托)
■超寬范圍高性能MEMS Pirani傳感器
■先進(jìn)的創(chuàng)新數(shù)字信號處理
■5~1333 mBar的精密氣體獨(dú)立傳感器
■0-10 Vdc可編程電壓輸出
■可在任何方向安裝,不影響性能
■可編程電壓輸出信號
■Digital RS-232 interface
■一個用于過程控制的固態(tài)繼電器
■絕對超壓耐受性高,可達(dá)10 bar(145 psi)