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蘇州奧揚(yáng)機(jī)電設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間:2023-11-03 13:25:53瀏覽次數(shù):150次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線KOFLOC3660質(zhì)量流量控制器從大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)的研發(fā)應(yīng)用中,我們作為各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型取得了許多成就,我們有各種衍生模型和選項(xiàng)
KOFLOC 3660 質(zhì)量流量控制器
從大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)的研發(fā)應(yīng)用中,我們作為各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型取得了許多成就,我們有各種衍生模型和選項(xiàng)。
模型 | 3660 | 3665 | |
---|---|---|---|
流量范圍 (N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM) | 10SCCM~20SLM(可選) | 30SLM~100SLM(可選) | |
傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
閥門方法 | 比例螺線管閥門(未通電時(shí)關(guān)閉) | ||
控制范圍(* 1) | 2~100%(F.S.) | 5~100%(F.S.) | |
響應(yīng)速度 | 在2秒內(nèi) (在±2%F.S.內(nèi)) | 在3秒內(nèi) (在±2%F.S.內(nèi)) | |
準(zhǔn)確性 | ±1.0%F.S.(25°C) | ±1.5%F.S.(25°C) | |
溫度系數(shù) | ±0.1%F.S./°C(15~35°C) | ±0.2%F.S./°C(15~35°C) | |
再現(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | ||
操作壓差 | F.S.≤5SLM 50~300 kPa(G) | F.S.≤50SLM 150~300 kPa(G) | |
F. S.> 5 SLM 100~300 kPa(G) | F. S.> 50 SLM 200~300 kPa(G) | ||
可選:中壓差壓規(guī)格(MP),低壓差規(guī)格(LP)可根據(jù)條件制造 | |||
壓力(* 1) | 980kPa(G) | ||
He泄漏率(* 2) | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | ||
允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH(無結(jié)露) | ||
氣體接觸材料 | 主體SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼 | ||
閥座FKM(選件CR或NBR) | |||
密封材料FKM(選件CR或NBR) | |||
電氣連接 | Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)(符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)) | ||
流量設(shè)定 輸入信號(hào) | 0~5VDC (輸入阻抗1MΩ以上) | ||
流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC(外部負(fù)載電阻250kΩ以上) | ||
所需電源 | +15 VDC(±5%)100 mA,。15 VDC(±5%)250 mA | ||
接頭 (體型) | 標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F900 (9 / 16.18 UNF) 選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等 | 標(biāo)準(zhǔn)3 / 8F 900 (9 / 16.18 UNF) 選項(xiàng)1 / 2F 900,3 / 8 UJR,Rc 3/8等 | |
重量 | 約1000g | 約1500g |
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