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半自動(dòng)方片勻膠機(jī)

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更新時(shí)間：2023-05-15 11:35:43瀏覽次數(shù)：372次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

半自動(dòng)勻膠機(jī)，用于小方形基片及尺寸為□50.8×50.8mm晶圓片,可兼容6英寸晶圓；厚度都在0.15-1.5mm基片完成自動(dòng)滴膠、甩膠、勻膠工藝。

詳細(xì)介紹

設(shè)備主要由主軸單元、自動(dòng)供給系統(tǒng)（光刻膠）、排風(fēng)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成，采用框架結(jié)構(gòu)，外表為優(yōu)質(zhì)不銹鋼鏡面護(hù)板，無發(fā)塵量且不吸浮塵顆粒，工作方式為手動(dòng)上下片，自動(dòng)完成工藝。
主軸電機(jī)采用進(jìn)口交流無刷伺服電機(jī)（德國(guó)路斯特），保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速度控制精度高，重復(fù)性、穩(wěn)定性好。多件套組成的防濺、廢液收集、氣流控制，使涂膠工藝條件達(dá)到，以形成均勻性高的膠膜，滿足光刻工藝要求。