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富泰微科學儀器(上海)有限公司
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更新時間:2023-07-06 19:03:24瀏覽次數(shù):150次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線產品介紹 采用磁控型電極,限度地減輕對樣品的損壞。
產品介紹:
采用磁控型電極,限度地減輕對樣品的損壞。
產品特點:
1、采用LCD觸摸屏,可以更加簡便地設定加工條件
2、可處理較厚或較大的樣品(選配件)
3、記憶功能可存儲常用加工條件
產品規(guī)格:
項目 | 說明 | |
放電 | 類型 | 磁控二極管放電型(電場垂直于磁場) |
電極組成 | 反向平行盤(嵌入磁鐵) | |
電壓 | 0.4 kV DC(直流可變) | |
電流 | 40 mA DC | |
噴鍍速率 *1() [條件] 壓力:7 Pa 放電電流:40 mA 標靶與樣品表面之間的距離:20 mm | Pt 靶(選配件) | 15 nm/min |
Pt-Pd 靶(選配件) | 20 nm/min | |
Au 靶(選配件) | 35 nm/min | |
Au-Pd 靶(選配件) | 25 nm/min | |
樣品尺寸 | 直徑 | φ60 mm |
高度 | 20 mm | |
機械泵 | 135/162 l/min (50/60Hz) | |
靶材*2 | Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4) | |
電源要求 | 單相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-針插頭線纜(3 m) | |
尺寸 | 寬度 | 450 mm |
長度 | 391 mm | |
高度 | 390 mm | |
重量 | 主機:約 22 kg 機械泵:約 30 kg |
*1: 噴鍍速率僅供參考
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