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離子濺射儀

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更新時(shí)間：2023-07-01 18:00:24瀏覽次數(shù)：204次

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東莞華雅檢測(cè)儀器有限公司

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SD-900型離子濺射儀是采用二級(jí)（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的離子濺射鍍膜設(shè)備

詳細(xì)介紹

SD-900型離子濺射儀是采用二級(jí)（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的離子濺射鍍膜設(shè)備。二極（DC）直流濺射是一種、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜技術(shù)，是許多廠商提供的離子濺射儀的基礎(chǔ)。

V技術(shù)規(guī)格說(shuō)明

樣品倉(cāng)尺寸	φ150mm h120mm
樣品臺(tái)	可放置1 2 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)SEM樣品座，高度可在 30mm內(nèi)調(diào)節(jié)
上部電極	靶直徑5 0 mm，厚度0 .1mm
濺射控制	電流5 0mA
濺射面積	φ5 0mm
真空度	≤4×10-2mbar
靶材	金靶、銀靶、鉑靶
濺射速率	優(yōu)于5nm/min (金靶）
工作電壓	220V, 50HZ
輸出電壓	-1600V