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Cryo-Plex 8LP 低溫泵/冷泵

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更新時間：2023-07-16 19:07:15瀏覽次數(shù)：180次

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上海馳艦半導(dǎo)體科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

Cryo-Plex 8LP 低溫泵/冷泵

詳細(xì)介紹

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Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second
Air	1,500
Water	4,000
Hydrogen	2,200
Argon	1,200
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen	12
Argon	1,000
Throughput
Argon sccm	700
Crossover
Torr-liters	150
Cool down time
60 Hertz	90 Min
Cryopump measurements
Height	7.03"
Length	22.6"
Inlet flange	ANSI/ISO/CF