CCCL01微納尺寸測(cè)量?jī)x

將顯微成像與傳統(tǒng)影像測(cè)量相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了微小特征的大范圍測(cè)量。配置電動(dòng)變倍鏡頭，可自動(dòng)切換到不同的倍率，探測(cè)各種精密微觀二維尺寸特征。測(cè)量?jī)x功能豐富，擁有自動(dòng)調(diào)色增強(qiáng)圖像效果功能，滿足大范圍測(cè)量拼圖功能，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)抓取擬合測(cè)量功能，可進(jìn)行各種二維尺寸點(diǎn)、線、圓等的測(cè)量和形位公差的評(píng)價(jià)，可進(jìn)行各種段差、角度、平面度測(cè)量。

CCCL01微納尺寸測(cè)量?jī)x可用于印制電路板微切片、精密機(jī)械零件、晶圓刻蝕微結(jié)構(gòu)、光通訊器件、精密模具、磁性材料、精密沖壓、手機(jī)精密配件、醫(yī)療器械、鐘表、刀具、計(jì)量檢測(cè)等領(lǐng)域。

技術(shù)規(guī)格

表2

型號(hào)		CCCL01
物鏡		10X	20X	50X
圖像傳感器		高清工業(yè)像機(jī)
顯示器		24英寸 LCD顯示器（XGA：1920×1080）
單視場(chǎng)范圍		0.35×0.42mm	0.17×0.21mm	0.07×0.08mm
橫向分辨率*¹		0.2μm	0.1μm	0.05μm
測(cè)量精度*²	單視場(chǎng)	±0.03μm	±0.02μm	±0.01μm
	運(yùn)動(dòng)軸Ex/Ey	±（2.0+0.01L）μm
單視場(chǎng)重復(fù)精度*³		±0.1μm	±0.1μm	±0.05μm
高度測(cè)量*⁴	測(cè)量精度	±（2.0+0.01L）μm
	重復(fù)精度	±1μm
行程范圍	X和Y軸	100*100mm
	載物有效尺寸	90*90mm
	Z軸	80mm
光柵顯示分辨率		0.1μm
照明系統(tǒng)	透射照明	同軸點(diǎn)光（白光）
	反射照明	環(huán)形光（白光）
	輪廓光	透過(guò)照明（綠光）
點(diǎn)激光測(cè)量精度*⁴	最大孔深比	1.5
	高度范圍	±3.5mm
	精度	±2.0μm
測(cè)量軟件		VisionPower
最大測(cè)量速度	XY	30 mm/s
	Z	75 mm/s
外形尺寸(L×W×H)		600×440×750mm
重量		65kg
承重		5kg
工作電源		100-240VAC,50/60Hz,2A 功率 400W
工作環(huán)境		溫度10℃~35℃，濕度20~80%（無(wú)凝結(jié)）

注：

*1在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為+20±1.0℃時(shí)，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)線對(duì)分辨率板。

*2在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為+20±1.0℃時(shí)，測(cè)量微納米標(biāo)準(zhǔn)板。

*3在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為+20℃±1.0℃時(shí)，測(cè)量微納米標(biāo)準(zhǔn)板。

*4為Z軸機(jī)械精度，采用鏡頭聚焦測(cè)高的精度依賴于工件表面。

*5需選配光學(xué)高度測(cè)量傳感測(cè)頭。

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