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行業(yè)產(chǎn)品

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上海凱美特功能陶瓷技術(shù)有限公司


光譜橢偏儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:鄭先生查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-03-22 18:32:49瀏覽次數(shù):531次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:9條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:鄭先生

產(chǎn)品簡介

SE-VE橢偏儀是基于單旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜,可實現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學常數(shù)的快速分析表征。

詳細介紹

一、目的

本設(shè)備基于單旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜,可實現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學常數(shù)的快速分析表征。

二、測量系統(tǒng)規(guī)格

SE-VE光譜橢偏儀技術(shù)參數(shù)

  1. 橢偏儀測頭規(guī)格:

  1. 光譜范圍:400-800nm

  2. 入射角:65°

  3. 斑大小:2-3mm

  4. 調(diào)制技術(shù):PCRSA調(diào)制技術(shù)

  5. 膜厚重復性測量精度:0.05nm100nm 硅基SiO2樣件,30次重復測量1σ

  6. 折射率測量精度:0.001100nm 硅基SiO2樣件,30次重復測量1σ

  7. 膜厚測量范圍:0.1nm10μm

  8. 單點測量時間:5s

  9. 光源:高性能進口鹵素燈光源(鹵素燈壽命:2,000h

  10. 可視化樣品顯微對準系統(tǒng)

    1光譜橢偏測頭原理圖

    2 SE-VE光譜橢偏儀實物圖

  1. 樣品臺規(guī)格:

  1. 基板尺寸:*大支持樣件尺寸到8inch晶圓 可定制

  2. Z位移行程0-10mm

  3. 樣件臺俯仰角度> ±2°

  1. 測控與分析軟件

  1. 光譜測量能力:PSI/DELTA橢偏光譜、N/C/S光譜反射率光譜測量

  2. 數(shù)據(jù)分析能力:具備單層、多層膜厚、光學常數(shù)(折射率、消光系數(shù))分析能力

  3. 支持常用光學常數(shù)模型以及常用振子模型(柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等),并支持圖形化多振子混合模型擬合功能

  4. 支持多組分薄膜與體材料光學常數(shù)、組分比例分析功能; 核心算法包含嚴格耦合波模型、等效介質(zhì)模型

  5. 支持用戶自定義,軟件不限制拷貝數(shù)量,支持windows10操作系統(tǒng)

  1. 測控與分析計算機

  1. 操作系統(tǒng):WIN10 64

  2. CPU處理器:Intel 酷睿I3

  3. 內(nèi)存:4G

  4. 硬盤:500G

  5. 顯示器:19

  1. 配件

  1. 標準SiO2/Si標樣

  2. 標準安裝工具一套

  1. 環(huán)境要求

  1. 橢偏儀承載臺:尺寸>1.5m(長)× 1.0 m(寬),承載能力大于50Kg(建議光學隔振)

  2. 使用溫度范圍:20 ~ 26

  3. 相對濕度:35% ~ 60% RH

  4. 空氣壓力范圍:750~1014 mbar

  5. 潔凈度: Class 10000

  1. 能源要求

  1. 供電電源電壓:220V AC

  2. 正常頻率范圍:49-51Hz

  3. 相電流:有效值小于0.5A220V AC

  4. 功率:小于110 W

  1. 涂裝與表面處理

  1. 涂裝顏色:以黑色為主

  2. 表面處理:鍍化學鎳、陽極處理、烤漆等

  1. 質(zhì)保與售后服務(wù)

  1. 整機硬件質(zhì)保期為12個月。在質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)各類故障供方及時免費維修,對非人為造成的各類零件損壞,及時免費更換

  2. 測控與分析軟件:升級,數(shù)據(jù)分析軟件提供拷貝

  3. 為用戶提供**充分儀器操作與數(shù)據(jù)分析培訓

  4. 提供終身免費數(shù)據(jù)建模與分析技術(shù)支持,為用戶提供樣件材料光學常數(shù)標定與模型庫升級服務(wù)

  5. 供方在接到故障報修信息后,供方維修人員4小時內(nèi)電話響應(yīng),*晚48小時內(nèi)供方服務(wù)工程師進行****維修

關(guān)鍵詞:補償器 橢偏儀 顯示器
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