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上海凱美特功能陶瓷技術(shù)有限公司
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更新時間:2023-03-22 18:32:49瀏覽次數(shù):531次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線SE-VE橢偏儀是基于單旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜,可實現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學常數(shù)的快速分析表征。
一、目的
本設(shè)備基于單旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜,可實現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學常數(shù)的快速分析表征。
二、測量系統(tǒng)規(guī)格
SE-VE光譜橢偏儀技術(shù)參數(shù)
橢偏儀測頭規(guī)格:
光譜范圍:400-800nm
入射角:65°
光斑大小:2-3mm
調(diào)制技術(shù):PCRSA調(diào)制技術(shù)
膜厚重復性測量精度:0.05nm(100nm 硅基SiO2樣件,30次重復測量1σ)
折射率測量精度:0.001(100nm 硅基SiO2樣件,30次重復測量1σ)
膜厚測量范圍:0.1nm—10μm
單點測量時間:<5s
光源:高性能進口鹵素燈光源(鹵素燈壽命:2,000h)
可視化樣品顯微對準系統(tǒng)
圖1光譜橢偏測頭原理圖
圖2 SE-VE光譜橢偏儀實物圖
樣品臺規(guī)格:
基板尺寸:*大支持樣件尺寸到8inch晶圓 (可定制)
Z軸位移行程:0-10mm
樣件臺俯仰角度:> ±2°
測控與分析軟件
光譜測量能力:PSI/DELTA橢偏光譜、N/C/S光譜、反射率光譜測量
數(shù)據(jù)分析能力:具備單層、多層膜厚、光學常數(shù)(折射率、消光系數(shù))分析能力
支持常用光學常數(shù)模型以及常用振子模型(柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等),并支持圖形化多振子混合模型擬合功能
支持多組分薄膜與體材料光學常數(shù)、組分比例分析功能; 核心算法包含嚴格耦合波模型、等效介質(zhì)模型
支持用戶自定義,軟件不限制拷貝數(shù)量,支持windows10操作系統(tǒng)
測控與分析計算機
操作系統(tǒng):WIN10 64位
CPU處理器:Intel 酷睿I3
內(nèi)存:≥4G
硬盤:≥500G
顯示器:≥19寸
配件
標準SiO2/Si標樣
標準安裝工具一套
環(huán)境要求
橢偏儀承載臺:尺寸>1.5m(長)× 1.0 m(寬),承載能力大于50Kg(建議光學隔振)
使用溫度范圍:20 ~ 26 ℃
相對濕度:35% ~ 60% RH
空氣壓力范圍:750~1014 mbar
潔凈度: Class 10000
能源要求
供電電源電壓:220V AC
正常頻率范圍:49-51Hz
相電流:有效值小于0.5A(220V AC)
功率:小于110 W
涂裝與表面處理
涂裝顏色:以黑色為主
表面處理:鍍化學鎳、陽極處理、烤漆等
質(zhì)保與售后服務(wù)
整機硬件質(zhì)保期為12個月。在質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)各類故障供方及時免費維修,對非人為造成的各類零件損壞,及時免費更換
測控與分析軟件:升級,數(shù)據(jù)分析軟件提供拷貝
為用戶提供**充分儀器操作與數(shù)據(jù)分析培訓
提供終身免費數(shù)據(jù)建模與分析技術(shù)支持,為用戶提供樣件材料光學常數(shù)標定與模型庫升級服務(wù)
供方在接到故障報修信息后,供方維修人員4小時內(nèi)電話響應(yīng),*晚48小時內(nèi)供方服務(wù)工程師進行****維修
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